顯微鏡是微觀研究領域不可或缺的重要工具,可以說正是顯微鏡的面世揭開了微觀世界的神秘面紗。隨著科技的不斷發展和社會的不斷進步,人們對于微觀世界的認知越來越深刻也越來越清晰。這也就反向推動了顯微鏡作為一種不可或缺的工具的發展。
尤其是工業領域,隨著工藝制造水平的不斷進步,人們對于工業制品的要求也越來越高。對于十分精密的零部件更是如此,例如樣品表面的粗糙度測量,加工工藝對于精密器件表面的影響,精密器件表面特殊處理的合格與否等等,這其實都或多或少的涉及到了元件的3D微觀測量。眾所周知,普通光學顯微鏡受可見光波長的影響,理論極限放大倍數大概在2000倍,這也就導致了測量只能停留在這個放大倍數的基礎上。而光學顯微鏡成像是平面成像,有的軟件智能處理可以實現蒙太奇式拼接,實現不同深度的樣品細節再同一張圖片上顯示出來。但歸根結底,這種拼接技術無法實現深度的精確測量。
而3D測量用顯微鏡采用比可見光波長更短的激光,打破了普通光鏡的極限分辨率,使得放大倍數得到了顯著地提成,精度實現了亞微米級別。運用激光共聚焦掃描模式成像,使得樣品的真實3D樣貌能夠完整的呈現,這也解決了普通光鏡無法實現深度測量的痛點。正是這些顯著優點,3D測量顯微鏡在工業領域的應用越來越廣泛。
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