境試驗箱.png "環(huán)境試驗箱")
測儀器.jpg "表面光學檢測")
半導體檢查顯微鏡產(chǎn)品介紹
半導體檢查顯微鏡MX61L
能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。
半導體／FPD檢查顯微鏡MX61L
半導體／FPD檢查顯微鏡MX61L
觀察影像實例
晶圓（明視場觀察） 晶圓（暗視場觀察）
晶圓（微分干涉觀察） 彩色濾色片（透射觀察）
半導體檢查顯微鏡技術(shù)參數(shù)
半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格 | |||
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導 | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm | ||
最大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm） | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場（視場數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合） | ||
重量 | 51 kg（標準組合） | ||
半導體檢查顯微鏡標準配置
配置 | ||
序號 | 名稱 | 數(shù)量 |
1 | 主機 | 1 |
2 | 光學系統(tǒng) | 1 |
3 | 照明裝置 | 1 |
4 | 對焦單元 | 1 |
5 | 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 1 |
6 | 載物臺（可選） | 1 |
7 | 觀察筒（可選） | 1 |
8 | 附件單元 | / |
半導體檢查顯微鏡可選配件
半導體檢查顯微鏡相關(guān)視頻
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